● 最高工作溫度1500℃
● 連續(xù)使用溫度1400℃
● 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統來控制，都可設置30段升降溫程序
● 每個溫區(qū)長度為200mm
● 總溫區(qū)長度為600mm
● 爐管為高純剛玉管
● 爐管尺寸：（標配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
● 爐管尺寸：（選配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
● 輸入電源： 208 – 240V AC，單相
● 最大功率：6.6KW
● 配有一對不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口
● 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料）

● 輸出功率: 5 -500W ± 1% .
● 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
● 反射功率:最大 200W
● 匹配:自動
● 射頻接口: 50 Ω, N-type
● 噪音: <50 dB.
● 冷卻:風冷.
● 電源: AC 208-240V, 50/60Hz

● 輸入電源：24V，1A  DC（配有一電壓轉換器）
● 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr.
● 數據顯示：數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
● 接頭：1/8"NPT 接頭
● 產品尺寸：46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

● 采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
● KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
● 管內真空可達10E-2 Torr

● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) ：數字顯示，自動控制.
● MFC 1范圍: 0~100 sccm
● MFC 2和3: 0~200 sccm
● MFC 4范圍: 0~500 sccm
● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.
● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體.
● 進氣口: 4個1/4NPS.
● 出氣口: 4個 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制

● 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統控制
● 采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序
● 帶有超溫和斷偶保護
● 控溫精度：+/- 1 oC
可選;此款設備可以安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦

● 爐體：550 x 380 x 520  mm
● 爐體下端移動柜：1800×600×600mm

凈重：220 Lbs.
運輸重量：1200lbs

所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證/ CE認證，如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證