應(yīng)用范圍:OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
產(chǎn)品型號 :OTF-1200X-PESDFG-50
上架時(shí)間 :2019-07-04
安裝尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
TF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) |
● 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面,和通過對爐體的滑動(dòng)達(dá)到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果 |
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| 等離子射頻電源 |
● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005% |
|
| 真空系統(tǒng) |
● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr |
|
| 質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng) |
● 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制. |
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| 爐管&密封法 |
● 高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L |
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| 防腐型真空計(jì) |
● 輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器) |
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| 循環(huán)手套箱 |
● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H) |
|
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證 |
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| 保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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