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GSL-1700X-F3LV 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，最高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品型號(hào) ：GSL-1700X-F3LV

上架時(shí)間：2019-06-28

安裝尺寸：爐體：550 x 500 x 700mm L x W x H

混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm

真空機(jī)組： 600 x 600 x 700mm

A^-A⁺

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GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，最高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	●采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C. ●保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 ●內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
加熱元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
最高工作溫度	1700℃
最大升溫速率	5℃/min
最大降溫速率	5℃/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度	455mm (18")
溫控系統(tǒng)	●一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過(guò)可控硅 SCR ●可設(shè)置30段升降溫程序. ●帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
控溫精度	+/- 1℃
爐管材質(zhì)和尺寸	●99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 ●（標(biāo)配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L ●（選配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L
密封法蘭	●兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配）和閥門(mén) ●通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr ●泄漏率最大6 mtorr/min
輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：最大5KW
真空泵	一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr
配件	●標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個(gè)不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭 ●一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍 ●可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
氣體流量計(jì)	● 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. ● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接，來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力 ● 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上
產(chǎn)品尺寸	● 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管 ● 爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H ● 混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組： 600 x 600 x 700mm
凈重	450 lb (總計(jì))
運(yùn)輸重量	500 lb (總計(jì))
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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