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OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達到 10-2 torr。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-80-III-F3LV

上架時間：2019-06-28

重量：約 90 Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達到 10-2 torr。

性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷，使得殼體的表面溫度小于60度 ● 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 ● 可開啟式，更換爐管方便
功率	5 KW
電壓	AC 208-240V單相, 50/60 Hz
加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
最高工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
最大加熱速率	≤20 ℃/min
石英管& 密封法蘭	● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) ● 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門（點擊下面的圖片查看詳細的信息）
加熱區(qū)長度	● 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total) ● 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) ● 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") ● 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng)	● 三個精密溫度控制器，可獨立控溫 ● PID控制方式,通過PWM固體繼電器。 ● 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序. ● 帶有過熱和斷偶保護功能
控溫精度	+/- 1℃
真空密封系統(tǒng)	● 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）. ● 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵，真空度可以達到10-4 torr. ● 漏氣率 < 5 m-torr / min
真空泵	采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有進口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米
數(shù)字式真空顯示計	可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
氣體流量計和壓力表	● 三個浮子流量計，能夠檢測到氣體的流 ● 三路浮子量程分別為 ● 10-100 cc/min. ● 16-160 cc/min. ● 25-250 cc/min ● 內(nèi)部安裝有一混氣罐 ● 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力
閥門	四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量
外形尺寸	● 爐子: 1100 X 450 x 670mm ● 底部移動架: 600x600x597mm
開門斷電	為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
凈重	約 90 Kg
運輸重量	245 lbs
應(yīng)用注意事項	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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