應用范圍:PCE-33是一款桌面式紫外(UV)臭氧清洗機,自動開/關樣品門,可選加熱樣品臺,可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果,最大有效清洗面積300×300mm。此款設備特別適合移除基片上的光刻膠,改善潤濕性,清洗鈣鈦礦太陽能電池基片,SEM&TEM樣品,UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性,干燥且無損傷地原子級別清洗手段,特別適合清除樣品表面的有機物。設備上所用紫外燈管主要發(fā)出2種波長的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變?yōu)槌粞酰?span lang="EN-US">254nm紫外光激活基片表面的有機物分子,兩者結合可有效清除基片表面有機物。
產品型號:PCE-33
上架時間:2024-07-27
版本號:V1.2
| 功能特點 |
|---|
| 技術參數 | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,功率約950W |
| UV燈 | 雙波長汞燈 |
| UV燈波長 | 184.9nm、254nm;(臭氧型雙重波峰值) |
| UV燈使用壽命 | 5000小時 |
| UV燈罩區(qū)域 | 300mm*350mm |
| 可清洗基片尺寸 | MAX 12英寸,厚35mm |
| 時間設置 | 0.01s-99.9小時 |
| 腔體 |
不銹鋼殼體 自動滑動抽屜樣品倉 腔體內安裝有臭氧排除裝置 |
| 加熱型樣品臺 |
面積L450mm*W450mm 支持最大樣品厚度:40mm; 加熱臺最高溫度可達150℃,程序控溫 可設置30段溫度段,控溫精度±2℃ 最大加熱速率:15℃/min 樣品臺和UV燈關之間的距離可調節(jié):20~40mm 可選加熱溫度達到300℃,控溫精度±0.1mm |
| 排氣口 |
一個直徑為75mm的排氣口在設備后部 配有3米的柔性排氣管道 |
| 設備應用 | 清洗Si基片,GaAs基片,石英和ITO玻璃;清洗各種氧化物單晶片,如藍寶石,STO和LAO;清洗Au和Pt基片;輕金屬材料表面氧化;活化聚合物材料;UV去除光刻膠;UV清洗LED顯示屏等 |
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