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VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

應(yīng)用范圍：VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī)，采用了先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。該設(shè)備可儲(chǔ)存6 組程序，每組程序包含9 個(gè)運(yùn)行階段。每段運(yùn)行參數(shù)可獨(dú)立設(shè)置，可使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi)，節(jié)約材料。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空吸盤(pán)及電機(jī)轉(zhuǎn)子軸中心的氣路管線(xiàn)與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤(pán)上，此方式操作簡(jiǎn)便、樣件取放自如，吸盤(pán)真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無(wú)刷電機(jī)，噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

產(chǎn)品型號(hào)：VTC-100PAX

設(shè)備尺寸：L270*W430*H400mm

重量：12kg

上架時(shí)間：2024-07-17

版本號(hào)：V1.0

A^-A⁺

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VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī)，采用了先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。該設(shè)備可儲(chǔ)存6 組程序，每組程序包含9 個(gè)運(yùn)行階段。每段運(yùn)行參數(shù)可獨(dú)立設(shè)置，可使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi)，節(jié)約材料。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空吸盤(pán)及電機(jī)轉(zhuǎn)子軸中心的氣路管線(xiàn)與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤(pán)上，此方式操作簡(jiǎn)便、樣件取放自如，吸盤(pán)真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無(wú)刷電機(jī)，噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

技術(shù)參數(shù)
供電接口	帶保險(xiǎn)電源插座：AC220V 50Hz 保險(xiǎn)管規(guī)格為10A、φ5×20mm
總功率	≤150W(不含外接真空泵）
涂膜主機(jī)腔體（材質(zhì)）	聚丙烯
載樣盤(pán)（吸盤(pán)）	聚丙烯真空吸盤(pán)：1 寸（適用φ25 樣片）、3 寸（適用φ76 樣片）各一個(gè)
運(yùn)行方式	可儲(chǔ)存6 組程序，每組程序包含9 個(gè)運(yùn)行階段
涂膜轉(zhuǎn)速	：500-12500rpm 有效
增減速率	每段增減速度設(shè)置范圍：100—2000 rpm/s
涂膜時(shí)間	每段時(shí)間范圍：0-999s
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性	±1%
控制方式	PCB 單片機(jī)按鍵控制LMC 液晶顯示屏
尺寸	L270W430H400mm
重量	12kg
注：1.設(shè)備供電為國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)AC220V 50Hz 供電，實(shí)際供電以產(chǎn)品后部標(biāo)牌參數(shù)為準(zhǔn)，此設(shè)備支持AC110V 50/60Hz 產(chǎn)品定制。 2.本設(shè)備控制程序及顯示均為英文。

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