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GSL-1700X-4-C2HV 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應用范圍：1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，最高工作溫度可達1600℃，混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達10-5 torr。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-4-C2HV

上架時間：2020-04-20

A^-A⁺

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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，最高工作溫度可達1600℃，混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達10-5 torr。

功能特點

雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。
采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。
采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。
已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風裝置	需要
管式爐	電源	單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW
	爐管	高純氧化鋁陶瓷管，外徑?100mm，內(nèi)徑?92mm，長1000mm
	加熱元件	1800℃硅鉬棒8根
	加熱區(qū)域	457mm
	恒溫區(qū)域	150mm
	工作溫度	最高1650℃，連續(xù)工作1600℃
	最大升降溫速率	≤5℃/min
	控溫精度	±1℃
	熱電偶	B型
	不銹鋼真空法蘭	1對
	機械壓力表	1個
	針閥	2個
	連接器	KF-25，1個
	抽氣接口	KF-25轉(zhuǎn)KF-40
	卡套接頭	1/4″
高真空機組	電源	單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W
	真空泵	德國Pfeiffer真空泵
	顯示屏	LCD數(shù)字顯示
	抽氣速率	N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
	工作范圍	1000mtorr-10-7mtorr
	極限	10-8mtorr（無泄漏）
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)	電源	單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W
	功率	18W
	混氣箱	Φ80mm×120mm
管式爐尺寸	550mm×380mm×520mm
高真空機組尺寸	600mm×600mm×700mm
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×700mm

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