應(yīng)用范圍:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-S2-50SL
上架時(shí)間 :2019-07-22
安裝尺寸:爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H
整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H
重量:80Kg
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 爐體結(jié)構(gòu) |
● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 |
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| 基本參數(shù) |
● 熱偶:K型熱偶 |
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| 高純石英管尺寸 |
尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm) |
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| 加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命) |
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| 加熱區(qū) |
每個(gè)加熱爐加熱區(qū)長(zhǎng)度:200mm |
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| 密封法蘭 |
● 一對(duì)SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi) 圖1 圖2 圖3
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| 溫控系統(tǒng) |
● 包含一款808P型溫度控制器 |
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| 可選 |
● 可選購(gòu)電動(dòng)滑軌(圖一) 圖1 圖2 圖3 圖4
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| 溫度校準(zhǔn)(可選) |
● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括: |
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| 滑軌 |
● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 |
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| 真空系統(tǒng)(可選) | ||
| 尺寸 |
● 爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H |
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| 凈重 |
80Kg |
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| 使用注意事項(xiàng) |
● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa |
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| 應(yīng)用提示 |
·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。 |
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| 認(rèn)證 |
所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
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| 保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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| 免責(zé)聲明 |
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