● 爐體結(jié)構(gòu):  雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷,
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
● 加熱元件:  8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm)
● 加熱區(qū):    4"X12" length （ +/-5oC ）
● 石英管:    4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
● 真空法蘭:  不銹鋼制作，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫”O(jiān)“型圈密封。長(zhǎng)時(shí)間在 > 900oC 條件下運(yùn)行必須采用水冷
● 循環(huán)水流量: 0.5 m3 /hr
● 溫控儀:  通過(guò)可控硅（SCR)   PID 自動(dòng)控制
● 帶自整定功能的30 程序精確控制
● 具有過(guò)熱保護(hù)和斷偶保護(hù)功能
● 控溫精度: +/- 0.5oC
● RS485 接口可與電腦連接
● 包含軟件(要求Window XP/7 系統(tǒng))
● 最快升溫速度:  室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
● 工作溫度:     最高1100oC
● 功率:       208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))
● 尺寸:       760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
● 重量:       45 kg (100 lbs)

可滑動(dòng)的石英樣品架, 最大可放 3" 基片爐子可以以 100 oC/S升溫到1000 oC, 打開(kāi)上蓋可快速降溫滑動(dòng)法蘭使得裝載樣品很容易

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

● 3個(gè)氣體流量計(jì) (量程40-400 cc/min  ， 精度4%  FS) 安裝在移動(dòng)架底部,顯示每路氣體的流量。
● 高速真空泵2TW-4C-220v （真空度可達(dá)f 10-2 torr）. 通過(guò)橡膠管與RTP爐子相連.
● 4個(gè)不銹鋼針閥（移動(dòng)架的側(cè)面）分別控制3路進(jìn)氣和一路混合氣。
● 4個(gè)壓力表（移動(dòng)架的正面）分別顯示每路氣體和混氣的壓力。

600 mm (L) x 600 mm  (W) x 597 mm ( H)

210 lbs