應(yīng)用范圍:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長。
產(chǎn)品型號 :OTF-1200X-II-PE-RR
上架時間 :2019-07-04
安裝尺寸:2400*600*1250mm
重量:260kg
OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L 。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 1200℃雙溫區(qū)管式爐 |
● 工作電源:AC220V,50/60Hz |
|
| 500W等離子源 |
● 輸出功率:50-500W最大可調(diào)±1% |
|
| 三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng) |
● 電壓:AC220V/50Hz |
|
| 真空測量單元 |
● 型號:PGC-554-LD |
|
| 低真空機(jī)組(標(biāo)配) |
● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計以及連接管道接頭等組成 |
|
| 壓力恒定控制系統(tǒng)(選配) |
壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣): |
|
| 卷對卷銅箔收放密封裝置 |
● 采用卷對卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動進(jìn)出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調(diào); |
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| 石英氣體噴嘴 |
可選配石英氣體噴嘴,將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入,可有效減少副反應(yīng)發(fā)生,實現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。 |
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| 產(chǎn)品尺寸 | ||
| 產(chǎn)品重量 |
260kg |
|
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
電器元件可選擇通過CE認(rèn)證 |
|
| 保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
|
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